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浅淡薄厚膜电路网络的激光功能修调技术
浅淡薄厚膜电路网络的激光功能修调技术
来源 :第十届混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:naicha125
【摘 要】
:
该文通过对引进设备M-44型激光调阻机的硬件配置改造和软件编程,使其达到功能修调的目的,其单一物理量的修调精度为±0.01℅,其运算物理量的精度为±0.05℅,同时极大地提高了产品的成品率和产
【作 者】
:
王国明
赵华
【机 构】
:
半导体研究所
【出 处】
:
第十届混合集成电路学术会议
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
厚膜
电路网络
光功能
物理量
激光调阻机
硬件配置
引进设备
软件编程
精度
产品
成品率
运算
性能
改造
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该文通过对引进设备M-44型激光调阻机的硬件配置改造和软件编程,使其达到功能修调的目的,其单一物理量的修调精度为±0.01℅,其运算物理量的精度为±0.05℅,同时极大地提高了产品的成品率和产品的性能。
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