论文部分内容阅读
Design and Fabrication of a Bulk Micromachined Tunneling Gyroscope with Fan-shaped Comb drivers
【机 构】
：
Dept.of Mechanical and Electrical Engineering,Xiamen Univ.,Xiamen,Fujian,CHINA
【出 处】
：
中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
：
2008年期
其他文献
对120例确诊为孕7周内的健康妇女口服米非司酮配伍米索前列醇终止早孕。结果显示完全流产率87％,不全流产率10％。阴道出血量与孕周、绒毛球大小及出血时间密切相关,用药越早,出
支气管肺发育不良(bronchopulmonary dysplasia，BPD)是早产儿常见的慢性呼吸系统疾病，重度BPD病死率高，存活者常导致神经系统发育落后、心血管系统并发症及长期呼吸道问题而影响
Piezoelectric actuators are increasing used in high precision and high speed position control applications because of their high stiffness,nanometer displac
会议