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用高压液封直拉法(LEC法)制备单晶,关键问题是解决直径控制,其直径控制的精度,直接影响到单晶的完整性和位错密度.本文阐述了LEC法制备GaP单晶过程中,用计算机来控制单晶直径的原理,及用计算机闭环控径制备GaP单晶的初步结果.同时还介绍了LEC法制备GaP单晶直径控制的另外几种方法.
计算机闭环控径制备φ2.0英寸<111>GaP单晶
【摘 要】
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用高压液封直拉法(LEC法)制备单晶,关键问题是解决直径控制,其直径控制的精度,直接影响到单晶的完整性和位错密度.本文阐述了LEC法制备GaP单晶过程中,用计算机来控制单晶直径
【机 构】
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北京有色金属研究总院国瑞电子材料有限责任公司(北京)
【出 处】
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第四届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2001年期
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