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真空沿面闪络发生发展过程中的发光现象是揭示真空沿面闪络机理的重要依据，但由于这一过程的持续时间只有几纳秒到几十纳秒，很难采用常规的方法进行诊断。本文采用纳秒脉冲电气和光电测量系统与纳秒分幅相机相结合，对纳秒脉冲作用下有机玻璃样品表面的沿面闪络电压电流特性、通道阻抗特性、不同光谱的光电特性和不同阶段闪络通道的发光图像进行了测量和诊断，分析了纳秒脉冲作用下的真空沿面闪络发展过程几个阶段的发光机理。