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本研究用脉冲激光沉积工艺在单晶MgO(001)上沉积了600nm厚的(Ba0.90Ca0.10)(Zr0.25Ti0.75)O3(BCZT)介电薄膜。在650℃原位退火20 min，薄膜为(001)方向外延生长的薄膜。薄膜的晶化特征与表面形貌用薄膜X-ray衍射仪和原子力显微镜测量完成。BCZT薄膜(002)峰的半高宽为1.98°，薄膜晶化良好；薄膜的平均晶粒尺寸大小为70nm，表面均方根粗糙度为10.8 nm，说明薄膜表面平整。在150MHz、500 MHz、1 GHz与13.3 MV/m时，BCZT薄膜最大的微波介电常数和调谐率分别为167.9和Z8％、162.2和18％、153.8和17％。