【摘 要】
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MEMS全电子气体质量流量计采用量热式测量原理,流量芯片封装在不锈钢平板上,在流道中形成边界层.通过不同气体的校准和实标以及分别与罗茨和涡轮流量计在城市天然气贸易
【机 构】
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矽翔微机电系统(上海)有限公司,上海200233
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MEMS全电子气体质量流量计采用量热式测量原理,流量芯片封装在不锈钢平板上,在流道中形成边界层.通过不同气体的校准和实标以及分别与罗茨和涡轮流量计在城市天然气贸易计量的在线对比数据分析,对MEMS流量计的性能进行了全面的考证.实际数据表明,MEMS流量计与传统带温度和压力补偿的机械流量计在相同的测量范围能够互换,而由于其更宽的动态测量范围,能够实现更准确的计量.同时,MEMS流量计不需要附加的温度和压力补偿,体积小巧,极大节约综合计量成本.此外,全电子技术易于实现数据远传,避免由于诸如机电转换带来的贸易纠纷.MEMS流量计还提供了未来能量计量的可能.
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