论文部分内容阅读
通过求解气体吸附动力学方程,研究了采用原子层沉积技术在管道内壁镀制铝薄膜的可行性,计算了反应前驱体在管道内壁形成饱和吸附的时间.利用动态蒙特卡罗方法,模拟研究了铝薄膜的原子层沉积过程,研究了前驱体的温度对沉积速率和率薄膜在基底表面的覆盖率的影响规律。
管道内壁原子层沉积铝薄膜的数值模拟研究
【摘 要】
：
通过求解气体吸附动力学方程,研究了采用原子层沉积技术在管道内壁镀制铝薄膜的可行性,计算了反应前驱体在管道内壁形成饱和吸附的时间.利用动态蒙特卡罗方法,模拟研究了铝薄
【机 构】
：
兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室,甘肃兰州730000
【出 处】
：
第四届高能束加工技术国际学术会议
【发表日期】
：
2012年9期
其他文献
本文提出了一种基于紫外激光微加工技术、采用聚酰亚胺作为结构材料的微型星用热开关辐射器,介绍了器件的工作原理,对器件结构和热性能进行了理论分析,确定了影响器件性能的
津门出租车运行状况堪忧王宁●作为全国三大直辖市之一的天津，目前已拥有出租汽车近３００００辆，其中“面的”占六成以上。据交通部门统计，“面的”的事故率和交通违章率在所有机动车中均
一．将“鲁艺杯”评奖启事中“全国师范院校”改为“全国美术院校（系、专业），”因为，中国已有许多所普通大、中专院校成立了美术、工艺美术专业，其中的教师正是《美苑》忠实的读者群
本系统是采用低损耗、宽频带的石英玻璃纤维作传输线路,并把电视广播信号用脉码调制来进行传输的系统。一九八三年十二月由(财)京阪神电缆电视(KCV)公司的协助,完成了在神户
根据实际的焊缝形状,选择了组合热源模型,并分析了脉冲束流下热源模型的能量密度分布.脉冲热源的能量密度分布不仅与空间位置有关,还与热源作用的时刻有关.建立了304不锈钢的
1991年10月27日,杜鹏程同志于西安逝世,享年70岁。中国人民失去了一位优秀的革命作家。他的名字将和《保卫延安》一起,永远为我们所怀念。这里刊载的是杜鹏程同志最后的遗作,
本文对SiC陶瓷引弧微爆炸单脉冲加工进行了实验研究,讨论了工艺参数对加工效率的影响,并对加工过程中的温度场进行了仿真,分析了SiC陶瓷引弧微爆炸加工时的材料去除机理.结果
随着人类政治、经济活动范围的日趋扩大,及效率的不断提高,人们都在追求着通信的更高目标——在任何时候、任何地点、与任何人都能及时沟通联系,交流信息。单靠办公室和家庭
1994年5月接到石河子市重点工程指挥部关于新建沙湾县老街路段路灯线的通知。施工图要求为地埋电缆线路，全线长340米，灯杆间距40－45米，电缆规格VV293×10＋1×6型杆体为变经钢管灯