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【摘 要】
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本文建立了电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance，ECR)放电的粒子模型，编制了准三维电磁模粒子模拟与蒙特卡罗模拟程序，通过对氩气ECR放电电离过程的理论分析与数值模拟，得
【机 构】
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电子科技大学大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,成都 610054
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会
【发表日期】
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2009年期
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