磁力显微镜中磁力信号对形貌像干扰的研究

来源 :第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：DreamerL

【摘要】

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使用磁力显微镜(MFM)对硬磁盘、磁带以及TbFe非晶薄膜等硬磁材料进行检测磁力信号的过程中,由于针尖的磁化方向发生偏转以及仪器参数的不恰当设置,都容易使磁力信号和表面微

【作者】

：

陈琨王志红

【机构】

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电子科技大学微电子与固体电子学院纳米技术中心(成都)

【出处】

：

第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

磁力显微镜磁力信号形貌像干扰

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使用磁力显微镜(MFM)对硬磁盘、磁带以及TbFe非晶薄膜等硬磁材料进行检测磁力信号的过程中,由于针尖的磁化方向发生偏转以及仪器参数的不恰当设置,都容易使磁力信号和表面微结构信号间产生干扰.目前国内外文献中很少对干扰的消除与理论原理进行讨论.本工作针对磁力信号对形貌像产生干扰的情况进行了较深入的研究,探讨了日本精工的SPA-300HV型MFM消除干扰的实验方法.并对其原理进行了分析.

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