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介绍激光法制备纳米级氮化硅粉末中试工程（ＳＮ１０１工程）的控制方案及系统结构。该控制系统为我国发展新型奠定了基础。
SN101工程集散控制系统
【摘 要】
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介绍激光法制备纳米级氮化硅粉末中试工程（ＳＮ１０１工程）的控制方案及系统结构。该控制系统为我国发展新型奠定了基础。
【机 构】
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工业大学工业自动化研究所
【出 处】
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1998中国控制与决策学术年会
【发表日期】
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1998年期
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