【摘 要】
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随着光学工业向微型化发展以及微电子等技术的不断发展,微光学元件的应用领域不断扩大,起着传统光学不能替代的作用.微光学元件的加工方式主要是微细加工技术,因此其结构形状
【机 构】
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上海超精密光学制造工程技术研究中心,复旦大学,上海200438
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随着光学工业向微型化发展以及微电子等技术的不断发展,微光学元件的应用领域不断扩大,起着传统光学不能替代的作用.微光学元件的加工方式主要是微细加工技术,因此其结构形状指标复杂多样,表面质量参数难以定义.另一方面,目前用于规范表面参数的国际标准ISO 25178-2主要针对的都是传统的光滑缓变表面,并不适用于需要特别关注局部结构特征的微光学元件的表面参数的规范.因此,建立微光学元件的几何形貌与性能参数之间的关联对微光学元件的设计加工中的精度控制具有很好的指导意义.
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