沉积a-Si:H薄膜衬底温度对固相晶化影响的研究

来源 :第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：SFAFFDAF

【摘要】

：

用a-Si:H薄膜经固相晶化为多晶硅薄膜,其形成的晶粒尺寸和性能与a-Si:H薄膜的初始结构有密切的关系,而a-Si:H薄膜的初始结构依赖于沉积条件,其中衬底温度是一个重要的因素,本

【作者】

：

姚若河林璇英吴萍余楚迎林扌(葵)训

【机构】

：

汕头大学物理学系(汕头)

【出处】

：

第二届全国金属功能材料第九届全国非晶态材料和物理第三届全国稀土永磁材料联合学术研讨会

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

多晶硅薄膜衬底温度固相晶化初始结构性能晶粒尺寸沉积条件实验

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用a-Si:H薄膜经固相晶化为多晶硅薄膜,其形成的晶粒尺寸和性能与a-Si:H薄膜的初始结构有密切的关系,而a-Si:H薄膜的初始结构依赖于沉积条件,其中衬底温度是一个重要的因素,本文重点研究沉积a-Si:H薄膜衬底温度对后续固相晶化效果的影响.实验表明存在一个最佳的沉积衬底温度,使得最终获得的多晶硅薄膜的性能最优.并对其机制进行了分析讨论.

其他文献

不规则三角网的生成算法研究综述

不规划三角网作为一种主要构造DTM的方法，具有极其广泛的用途。经过多年来的研究，它的生成算法已趋于成熟。该文简要介绍了不规则三角网的各种算法及其特性。

会议

不规则三角网算法研究生成算法趋于成熟用途特性规划构造方法

全国防大学1:25万地形数据库的建立与应用

1:25万地形数据库是国家基础地理信息系统的重要组成部分。目前已在国家许多部门得到广泛应用。它的设计和建立成功与否直接影响到数据库的使用方便程度和应用方向。该文主要

会议

国防大学地形数据库国家基础地理信息系统应用方向方便程度库结构多部门组成设计建库

浅谈城市建设中给排水规划的设计要点

随着我国经济的快速发展，人们的生活水平也有了较快提升，不断加快了我国的城市化进程，在城市建设过程中，应对城市给排水社会是的规划设计进行完善，对良好城市人居环境的构建产生极

期刊

城市建设给排水规划设计

推行峻工测量制度、实现基础地图及时更新

大比例数字化地形图、地下管线图的及时更新是城市地理信息系统应用中的现实瓶颈。采用峻工测量方法更新上述资料可达到既节省资金又保证现势性的目的。现行的城市规划法律体

会议

电子地图浏览系统的开发与应用

随着数字化成图技术的广泛应用，“海量”电子地图的管理成为城市地理信息领域的一个课题。该文介绍了一种基于GIS组件技术的电子地图浏览系统的开始方法，着重阐述了开发的过程，

会议

电子地图浏览系统组件技术信息领域城市地理成图技术数字化应用课题开发管理方法

构件GIS的构件构架技术

构件GIS是GIS软件发展的一个重要方向。该文提出并分析了GIS构件化过程中一项关键技术--构件构架技术。

会议

构件构架技术软件发展关键技术构件化

理想的文学批评究竟何为——从王春林的文学批评说起

闫文盛(山西文学院专业作家,以下简称“闫”):既然无须限定主题,我们就随便谈谈.黄难兄跟着王春林老师学习数年,接触科班的东西比较多,在这方面我们是不同的,我原先学的是水

期刊

理想文学批评专业作家限定主题学习兴趣写作系统水利山西论文科班

超高层建筑给排水的设计思路

以我国辽宁一幢建筑高度208.55m的综合建筑给排水及消防设计为例，介绍了超高层建筑生活给水、生活热水、消火栓系统、自动喷水灭火系统、及排水和雨水系统的设计思路，总结超高

期刊

超高层建筑给排水设计思路

在铝诱导下非晶硅薄膜低温快速化研究

本工作重点是在镀铝(0.5～4μm)的玻璃基底上用射频化学气相沉积1～4μm厚的a-Si薄膜(基底沉积温度为300℃,沉积速率为1.0μm/h),然后样品在共熔温度下、N气保护中热退火,可使其

会议

非晶硅薄膜快速晶化共熔温度热退火化学气相沉积多晶硅薄膜样品衍射分析玻璃基底沉积温度沉积速率气保护铝薄膜质量显示射线射频镀铝

浅谈住宅室内给排水设计分析

随着人民生活水平的不断提高，为满足居民日益提高的高质量生活标准要求，对住宅的设计和施工方面也提出了更高的要求，并要求其赋予住宅更高的科技含量和较高的文化内涵。目前，住宅

期刊

住宅小区给排水设计创新

沉积a-Si:H薄膜衬底温度对固相晶化影响的研究

其他学术论文