(Ⅱ)新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的大型蒸发镀膜设备

来源 :第六届华东三省一市真空学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mcl19800627
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大型蒸发镀膜设备需要配置抽速几万L/s以上的高真空泵。目前,国内外大型蒸发镀膜设备都采用油扩散泵抽气,成为目前高能耗、高油蒸汽污染扩散泵的主要应用阵地。本研究采用4台抽速1,000L/s的分子增压泵+l台0.4m2深冷水汽泵组成高真空抽气机组,成功取代了为Φ1600×1900大型蒸发镀膜设备配套的2台K-800扩散泵和1台ZJ-1200罗茨泵抽气机组,取得了下列优异成果:抽气能耗:2.5度/炉,比原设备节省80%,年节电30~40万度/台,相当于每台设备减排CO2200~300吨/年。
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