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该文利用厚膜压力传感器的制作工艺同厚膜混合集成技术工艺相容性好的特点，研究厚膜压力传感器的集成化。重点介绍其总体和芯片设计，对研制中涉及到的力敏全桥集成化和平面一体化补偿。运放调节电路集成等基础技术和相容技术也作了阐述。为传感器的集成化作了有益的尝试。
厚膜压力传感器的集成化研究
【摘 要】
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该文利用厚膜压力传感器的制作工艺同厚膜混合集成技术工艺相容性好的特点，研究厚膜压力传感器的集成化。重点介绍其总体和芯片设计，对研制中涉及到的力敏全桥集成化和平面一体
【机 构】
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科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1995年期
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