【摘 要】
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提供一种直接在空白衬底或材料上喷涂浆料以制作电极的新方法.如 Fig.1 所示,使用该设备制作的叉指状电极,其线宽约 50 μm,间距可达到 10 μm.与传统的丝网印刷[1]或者
【机 构】
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提供一种直接在空白衬底或材料上喷涂浆料以制作电极的新方法.如 Fig.1 所示,使用该设备制作的叉指状电极,其线宽约 50 μm,间距可达到 10 μm.与传统的丝网印刷[1]或者半导体工艺[2]相比,这种新型的电极制作方法具有效率高、无需制作掩膜板等优点.此外,本文直接在 TiO2纳米纤维上喷涂银胶并低温固化制作了传感器发现并未对材料造成破坏(Fig.2),并显示出明显的气、湿敏特性,因此上述方法有望为制作传感器提供新的方案.
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