【摘 要】
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在航空发动机的设计和验证过程中,准确测量涡轮叶片工作状态下的表面温度及温度分布状态非常重要.薄膜热电偶是将热电偶材料以薄膜方式直接沉积在叶片表面并图形化的温度
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054
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在航空发动机的设计和验证过程中,准确测量涡轮叶片工作状态下的表面温度及温度分布状态非常重要.薄膜热电偶是将热电偶材料以薄膜方式直接沉积在叶片表面并图形化的温度传感器,具有不破坏叶片结构、响应时间短、热容量小、结构尺寸薄、对测试环境影响小等优点,因此在检测涡轮叶片表面温度方面具有广阔的应用前景.随着航空发动机的发展,涡轮叶片轮前温度越来越高(大于1100℃),K 型(小于等于600℃)和S 型(小于等于1000℃)薄膜热电偶已不能达到测温需求.ITO 薄膜具有抗氧化以及从20℃到1400℃温度范围内无相变等优点,能够用于超高温(工作温度大于1000 ℃)测量环境中,为此,本文以Ni 基合金为基片,开展了Pt/ITO 薄膜热电偶制备工艺研究.制备的Pt/ITO 薄膜热电偶由Ni 基合金基片、NiCrAlY 过渡层、热生长Al2O3 层、Al2O3 绝缘层、Pt/ITO 功能层和Al2O3 保护层构成.
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