【摘 要】
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采用石英做介质阻挡层，对高气压XeI*准分子紫外光源进行了实验研究，从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数分析了光源的工作特性，其最佳工作参数为总气压 320Torr、
【机 构】
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北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京,102600
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采用石英做介质阻挡层，对高气压XeI*准分子紫外光源进行了实验研究，从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数分析了光源的工作特性，其最佳工作参数为总气压 320Torr、I2分压0.37％，电源频率58.7kHz。在此条件下当放电电压4.6kV、功率66W时，在距光源8.5cm 处得到的紫外光辐射强度为31.2mW/cm2，结合石英管结构参数和放电条件，经计算获得的光源转化效率为2.2%。
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