利用VPSA技术将臭氧和氧气分离,并将氧气回收使用,是降低臭氧制造成本的重要方法.本文介绍了VPSA系统工作示意图，用变压吸附技术，通过分子筛对臭氧进行吸附，氧气被分离出并通过氧气泵回收使用。吸附塔内部压力设置的高低、进气流量的大小、吸附质的多少、解析所用的吹扫空气的量的多少、解析时真空度多大等等，都对氧气的回收效果及臭氧解析效果有直接的影响，且臭氧的回收率与吸附柱内部压力的设置也有一定关系。吸附柱内部压力的设置对臭氧的吸附量关系很大，压力越大，吸附量越多，但臭氧的回收率越低。吸附量越多，所需的吸附质越少，吸附塔的体积越小。因此吸附塔的压力的设置，要根据臭氧发生器的功率(单位时间臭氧的产量)、臭氧的浓度、使用场所的空间环境等多方面因素来综合考虑。为了最大限度的回收氧气，减少臭氧的损失，原则上应尽量降低吸附柱内部压力。内部压力降低要影响臭氧的脱附，因此采用真空解析就很有必要，同时辅以干燥空气的吹扫，脱附效果就会更好。