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该文就目前国际传感器领域的一个热点问题“Smart Sensor”及其应用展望作了介绍，全文从智能传感器的含义、功能、集成化和微机械加工技术、软件、应用与发展等六个方面作了详细的论述。
智能传感器
【摘 要】
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该文就目前国际传感器领域的一个热点问题“Smart Sensor”及其应用展望作了介绍，全文从智能传感器的含义、功能、集成化和微机械加工技术、软件、应用与发展等六个方面作了
【机 构】
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工程物理研究院总体工程研究所
【出 处】
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中国电子学会'98敏感技术学术年会
【发表日期】
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1998年期
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