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Ａｒ－Ｈ<,2>－ＣＨ<,4>电弧等离子体合成金刚石膜的热力学分析
【机 构】
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四川联合大学
【出 处】
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’94秋季中国材料研讨会
【发表日期】
：
1994年期
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