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SDS集成电路图形辅助设计语言
SDS集成电路图形辅助设计语言
来源 :中国电子学会线路与系统学会LSICAD学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinyi
【摘 要】
:
该语言是一种主要用于电子束制版的集成电路设计语言。由于电子束曝光机制版的特点,语言考虑了一些亚微米图形的要求,并具有拚接、分割功能,对特殊图形的处理不但灵活,精度也高。
【作 者】
:
张玉林
于时林
【机 构】
:
山东工业大学
【出 处】
:
中国电子学会线路与系统学会LSICAD学术讨论会
【发表日期】
:
1985年期
【关键词】
:
集成电路
图形辅助
设计语言
电子束曝光机
电子束制版
特殊图形
亚微米
证明
精度
功能
改错
分割
处理
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该语言是一种主要用于电子束制版的集成电路设计语言。由于电子束曝光机制版的特点,语言考虑了一些亚微米图形的要求,并具有拚接、分割功能,对特殊图形的处理不但灵活,精度也高。几年的使用证明,该语言较为简单易懂,易于查错及修改错误。(本刊录)
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