半导体工厂的大宗气体供应系统为生产线提供高品质的大宗气体,大宗气体广泛应用于大部分工艺设备,且与芯片直接接触,大宗气体稳定供应直接影响生产线的正常运行.半导体工厂大宗气体供应系统采用现场制气;储罐或钢瓶供应模式,本文介绍从用途;设计;工程实践等方面探讨半导体工厂大宗气体供应系统,文章指出目前芯片制造工厂的大宗气体供应系统主要有2种供应模式被广泛使用，一种在芯片工厂附近或在FAB区域划分一块供大宗气体供应商使用，另一种在FAB区域由大宗气体供应商建设一套液态气体供气站，以气体管道输送至FAB厂房，其管路通过架空或地下管线供应至FAB，纯化系统是大宗气体供应中最重要的一环，目前国内采用的气体纯化器都是进口的，主要有SAES,Taiyo,Toyo,JPC和ATTO等生产厂家。在配置纯化器时，为考虑供气可靠性，一般会配置冗余纯化器进行并联使用，减少供气中断的风险。