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垂直梯度凝固法(VGF)生长高质量砷化镓晶体是近几年出现的一种新方法,与液封直拉法(LEC)和水平布里奇曼法(HB)比较,具有设备造价低,容易实现程序控制,单晶棒无须滚园,利用率高,生长的单晶具有较低的位错密度和较高的完整性、均匀性等优点,作为光电材料和高速IC用的材料,特别受到器件制造商的青睐,该文主要叙述了在国产三温区中压炉上,运用VGF技术,生长GaAs单晶,并就生长中的一些问题进行研究探讨。