【摘 要】
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钢化玻璃、蓝宝石、碳化硅、金刚石等超硬透明材料在平板显示、功能电子器件、光学及光子学器件等领域已广泛使用。这些超硬、易碎材料的加工技术是提高产品性价比的关键手段
【出 处】
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第八届中国功能玻璃学术研讨会暨新型光电子材料国际论坛
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钢化玻璃、蓝宝石、碳化硅、金刚石等超硬透明材料在平板显示、功能电子器件、光学及光子学器件等领域已广泛使用。这些超硬、易碎材料的加工技术是提高产品性价比的关键手段之一。由于传统的加工方法存在工序多、材料损耗多以及成品率低等缺点,人们把目光转向激光精密微细加工技术。目前纳秒激光系统是比较普遍采用的激光微细加工系统,但该类激光的热作用以及加工精度不能满足要求,而超快皮秒或飞秒激光可以突破这一限制。本报告首先介绍超快激光加工硬脆透明材料过程中的关键科学及技术问题,然后演示超快激光加工硬脆透明材料的潜在应用领域,最后展望超快激光加工硬脆透明材料的工业应用前景。
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