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当今社会各种假冒伪劣产品越来越多,精密光刻系统主要应用于烟、酒等产品商标的防伪。本文介绍了直线电机的结构与原理,以及精密光刻系统的组成与原理。该系统采用了双闭环控制方式,并用英国雷尼绍(RENISHAW)公司生产的高精度光栅作为反馈环节的位置测量单元,这样不仅提高了光刻速度,而且也改善了光刻精度。