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本文介绍了用于分析CO 气体的4.65μm 红外干涉滤光片的研制过程，并对膜系设计、监控方案、制备工艺条件等进行了讨论.结合膜层机械强度及环模可靠性试验的结果，可以看到改进取得了良好的效果.
CO气体分析用4.65μm红外干涉滤光片的改进
【摘 要】
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本文介绍了用于分析CO 气体的4.65μm 红外干涉滤光片的研制过程，并对膜系设计、监控方案、制备工艺条件等进行了讨论.结合膜层机械强度及环模可靠性试验的结果，可以看到改
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,上海200083
【出 处】
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第四届全国信息光学与光子器件学术会议
【发表日期】
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2012年期
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