【摘 要】
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针对目前声表面技术轮胎压力传感器存在的缺点,本文提出一种新型的轮胎压力传感器结构。该结构中的声表面波谐振器工作在表面横波模式下,力传导机构及弹性元件采用的是等强度
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海 200240
【出 处】
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2009年中国西部地区声学学术交流会
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针对目前声表面技术轮胎压力传感器存在的缺点,本文提出一种新型的轮胎压力传感器结构。该结构中的声表面波谐振器工作在表面横波模式下,力传导机构及弹性元件采用的是等强度石英悬臂梁结构,其中石英为BT切型。
采用商用有限元软件ANSYS对传感器力敏结构的基片材料、等强度梁结构进行了仿真比较,计算了应力强化凹槽结构下表面横波谐振器区域的应力和应变分布,为精确设计该结构的传感器奠定了基础。
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