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飞秒激光的低热输入、极小热影响区的特点使其在微米尺度材料连接领域有明显的优势。本文利用飞秒激光连接了石英玻璃和硅，测试了接头的剪切强度，分析了接头断裂前后的形貌特征，研究了激光参数，如激光功率，扫描速度以及离焦量对接头强度的影响影响规律。
石英玻璃与硅的飞秒激光微连接及其接头性能研究
【摘 要】
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飞秒激光的低热输入、极小热影响区的特点使其在微米尺度材料连接领域有明显的优势。本文利用飞秒激光连接了石英玻璃和硅，测试了接头的剪切强度，分析了接头断裂前后的形貌
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程学及自动化学院材料加工及控制工程系,北京100191
【出 处】
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第十届全国激光技术与光电子学学术会议
【发表日期】
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2015年期
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