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本文借鉴文献中的分析结论——“衬底温度对薄膜在界面处的形核和生长有很大影响”，研究了不同衬底温度(300℃、400℃、650℃、750℃)条件下沉积的薄膜结构。研究发现：沉积温度较低(如300℃、400℃)时，XRD物相分析结果主要呈非晶态，只有部分结晶成α-Zr和V，且晶粒小到纳米量级；沉积温度升高(如650℃、750℃)时，XRD分析结果得到比较完整的结晶，主要是α-Zr和V。