【摘 要】
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本文利分析了以金为电极的SAW器件研制过程中电极指阻抗对器件性能的影响,考虑到金需要铬提高金的附着性,由于铬具有较大的电阻率,而且通常在应用时其膜厚较薄,因此会引起较
【机 构】
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中国科学院声学研究所,北京,100080
【出 处】
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中国声学学会2005年青年学术会议[CYCA'05]
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本文利分析了以金为电极的SAW器件研制过程中电极指阻抗对器件性能的影响,考虑到金需要铬提高金的附着性,由于铬具有较大的电阻率,而且通常在应用时其膜厚较薄,因此会引起较大的指阻抗,从而影响到了器件的性能指标.本文利用耦合模理论模拟了不同膜厚的金铬电极对于低损耗单向单相换能器(SPUDT)结构SAW器件频率特性的影响程度,并通过实验予以验证.最后,文章还提出了改善电极指阻抗对器件性能影响的方法,对于更进一步提高声表面波器件的性能指标有着实际意义.
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