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研究了溅射法制备的薄膜超弹性特性.采用三种不同的方法:拉伸法,鼓气法,压痕法时薄膜的超弹性行为进行了测试,比较并讨论了三种研究方法的作用机制,从不同角度探讨了薄膜发生超弹性的条件及影响因素。
镍钛形状记忆合金薄膜超弹性性能的研究
【摘 要】
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研究了溅射法制备的薄膜超弹性特性.采用三种不同的方法:拉伸法,鼓气法,压痕法时薄膜的超弹性行为进行了测试,比较并讨论了三种研究方法的作用机制,从不同角度探讨了薄膜发生
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,200030
【出 处】
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上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会
【发表日期】
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2004年期
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