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用等离子体汽相沉积方法合成了硼掺杂Ｃ〈，６０〉薄膜，通过红外紫外－可见吸收谱初步分析了掺杂Ｃ〈，６０〉薄膜的结构及特性。
等离子体汽相沉积硼掺杂C薄膜
【摘 要】
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用等离子体汽相沉积方法合成了硼掺杂Ｃ〈，６０〉薄膜，通过红外紫外－可见吸收谱初步分析了掺杂Ｃ〈，６０〉薄膜的结构及特性。
【机 构】
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工业大学应用物理系
【出 处】
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1998年中国材料研讨会
【发表日期】
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1998年12期
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