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光谱方法是诊断等离子体最有力的工具之一，可以定量地给出等离子体的多种重要参数，如等离子本中的物种、能态分布、温度、浓度等。该文介绍了一种用于ECR微波等离子体和辉光放电等离子体诊断的发射光谱装置，其特点是光学收集系统的水平位置可以微调，因而可以对放电区域进行空间分布诊断。同时该文还报道了利用这套装置对Ar气的辉光放电等离子体进行诊断得到的一些结果。