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<正>投影物镜系统是步进扫描投影光刻机中最重要的分系统之一。投影物镜的波像差使光刻机的光刻成像质量恶化,并造成光刻工艺窗口的减小。随着光刻特征尺寸的不断减小,尤其是各种分辨率增强技术的使用,光刻机投影物镜的波像差对光刻成像质量的影响越来越突出。因此,快速、高精度的光刻机投影物镜波像差原位检测技术是保证光刻机高效运行的必要保障。