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介绍了一种新型的双层谐振器，并用各向异性腐蚀剂KOH和TMAH，以及结合干法刻蚀实现了谐振器的制作，并且对两种湿法腐蚀剂KOH和TMAH的腐蚀效果作了比较.
一种新型微机械谐振器关键工艺--各向异性腐蚀的研究
【摘 要】
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介绍了一种新型的双层谐振器，并用各向异性腐蚀剂KOH和TMAH，以及结合干法刻蚀实现了谐振器的制作，并且对两种湿法腐蚀剂KOH和TMAH的腐蚀效果作了比较.
【机 构】
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西安交通大学电子与信息工程学院 710049
【出 处】
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第二届中国西安纳米科技研讨会
【发表日期】
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2003年期
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