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本文利用变参数沉积金刚石厚膜工艺,提高了金刚石的成核密度,细化了晶粒尺寸,减小的空洞缺陷,改善了厚膜刀具的锋锐度.
CVD金刚石刀具的精密切削性能
【摘 要】
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本文利用变参数沉积金刚石厚膜工艺,提高了金刚石的成核密度,细化了晶粒尺寸,减小的空洞缺陷,改善了厚膜刀具的锋锐度.
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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中国机械工程学会生产工程分会面向21世纪学术会议
【发表日期】
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2001年期
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