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高残余应力直接影响到薄膜材料的实际应用,这在信息、航空航天等高技术领域用DLC薄膜中尤为突出.目前,金属掺杂被认为是降低DLC膜高应力的理想方法之一.
金属掺杂对线性离子束类金刚石薄膜残余应力的影响
【摘 要】
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高残余应力直接影响到薄膜材料的实际应用,这在信息、航空航天等高技术领域用DLC薄膜中尤为突出.目前,金属掺杂被认为是降低DLC膜高应力的理想方法之一.
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所
【出 处】
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第七届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
【发表日期】
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2011年期
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