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本文结合ICP-MS分析方法国标的制定，对电子工业气体中的金属元素进行分析。本文探讨了各类气体的处理方式，分析方法的原理、步骤。
ICP-MS分析气体中的金属元素
【摘 要】
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本文结合ICP-MS分析方法国标的制定，对电子工业气体中的金属元素进行分析。本文探讨了各类气体的处理方式，分析方法的原理、步骤。
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院,上海,200437
【出 处】
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2015全国气体标准化联合会议
【发表日期】
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2015年期
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