【摘 要】
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层层自组装(layer-by-layer self assembly)技术已被广泛用于氧化物薄膜的制备，其主要依靠带有异种电荷的聚电解质与氧化物胶体的静电作用来实现交替沉积，最后再将有机聚电
【机 构】
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东华大学材料学院,纤维材料改性国家重点实验室,上海,201620
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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层层自组装(layer-by-layer self assembly)技术已被广泛用于氧化物薄膜的制备，其主要依靠带有异种电荷的聚电解质与氧化物胶体的静电作用来实现交替沉积，最后再将有机聚电解质煅烧除去，得到成分主要是无机物的纳米颗粒薄膜.聚电解质除去难以完全、电解质仅仅起到调节电荷的作用决定了薄膜的性能及制膜效率均不够理想.Cohen等提出了全纳米颗粒自组装的概念[1]，并制备了TiO2/SiO2等减反射、自清洁薄膜.全颗粒自组装也适合微几何空间、不耐受高温纳滤膜等的表面修饰和改性[2]，但氧化硅是绝缘体，这种方法得到的薄膜难以在光电转换、信息技术等高技术领域得到应用.我们提出了全半导体纳米颗粒自组装技术来制备同质但晶粒大小不同的二氧化钛薄膜、异质的ZnO/TiO2、SnO2/TiO2等薄膜.
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