Hartmann-Shack波前传感器的插值重构算法研究

来源 :第四届全国信息光学与光子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dreamastlxy

【摘要】

：

为实现使用HartmannShaCk波前传感器对高分辨率物镜进行高精度检测，本文提出使用二维插值多项式替代Zernike多项式为重构基底对被测波前进行模式重构的方法.为了验证此方法的可行性，仿真高分辨率物镜设计波像差为待测波前，得到重构误差RMS为0.0609λ.模拟理想球面波为待测波前，重构精度随拟合阶数增加稳定变化.经过重构正弦波前、余弦波前、非球面波前和含有低阶像差的波前，进一步对比了Ze

【作者】

：

李晶巩岩

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春1300332;中国科学院研究生院,北京130049

【出处】

：

第四届全国信息光学与光子器件学术会议

【发表日期】

：

2012年10期

【关键词】

：

Hartmann-Shack sensors modal wavefront reconstruction Zernike polynomial two-dim

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