【摘 要】
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压电薄膜作为一类新型电子功能材料,在微机电和微电子器件等领域占有重要地位.然而,以锆钛酸铅(PZT)为代表的传统铅基材料在生产、使用和废弃过程中易释放严重的毒性.随着环
【机 构】
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新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,清华大学,北京,100084
【出 处】
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第十五届全国电介质、材料与应用学术会议
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压电薄膜作为一类新型电子功能材料,在微机电和微电子器件等领域占有重要地位.然而,以锆钛酸铅(PZT)为代表的传统铅基材料在生产、使用和废弃过程中易释放严重的毒性.随着环境保护和可持续发展要求的日益提高,薄膜无铅化成为了相关领域研究的前沿热点.近年来,不同体系的无铅压电薄膜重要进展层出不穷,铌酸钾钠(KNN)以其具有优异的压电性能、较大的机电耦合性能和较高的居里温度等特征,被公认是最有可能取代铅基材料的体系之一.相比于块体材料,KNN 基无铅压电薄膜的研究仍比较初步,尚有大量基本问题亟待研究.
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