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【摘 要】
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多晶硅是信息产业和新能源产业的基础原材料，本文研究了世界多晶硅主流工艺——三氯氢硅氢还原工艺生产过程中副产物四氯化硅综合回收利用途径，通过热力学和动力学计算，确定
【机 构】
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中国恩菲工程公司
【出 处】
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中国工程院化工、冶金与材料工程第十届学术会议
【发表日期】
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2014年期
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