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该文介绍了以硅压阻传感器为基础元件的气体流量测量仪系列（小流量至中大流量）的研制情况。
医用气体中、小流量测试装置的实验研究
【摘 要】
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该文介绍了以硅压阻传感器为基础元件的气体流量测量仪系列（小流量至中大流量）的研制情况。
【机 构】
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军区总医院医学计量中心
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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