玻璃毛细漏孔漏率的测量

来源 :上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fulva
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本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究.我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s~3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol/s~1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s~3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2%~5%(k=2)。
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