论文部分内容阅读
微型与微压均是压阻压力传感器制作中的难题，二者都要求就更难，作者应水工模型测量的要求开发了一种直径Φ５ｍｍ，量程１ｍＨ〈，２〉Ｏ，３ｍＨ〈，２〉Ｏ，测水且要背腔水密封的水工专用微型微压传感器。又应便携式军用呼吸机的要求，开发了一种直径Φ１２，量程２ＫＰａ的微型微压呼吸压传感器。合理的敏感芯片设计，微机械加技术及无应力封装是其成功的关键。