【摘 要】
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在不同Mo靶偏流下采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrMoN涂层,通过XRD、EDX、显微硬度、划痕和磨损试验综合分析涂层相结构和的表面性能。实验结果
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院,上海 200072
【出 处】
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第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
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在不同Mo靶偏流下采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrMoN涂层,通过XRD、EDX、显微硬度、划痕和磨损试验综合分析涂层相结构和的表面性能。实验结果表明,不同工艺下的CrMoN涂层表面光滑、致密,(Cr,Mo)N在(111)晶面呈强烈的衍射峰。涂层与基体均具有良好的界面结合。Cr12MoV经PVD处理后,表面承载能力和耐磨性得到了明显的提高。当Mo含量为22.8％时,CrMoN涂层显示出最好的综合性能。
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