【摘 要】
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片状元件MIC电路是当前国际上新发展起来的电路。该文介绍了首次制成的CCNA导带氮化钽铝片状电阻器。由于采用了CrCnNiAn多层复合导带提高了片状电阻薄膜导电系统的可靠性，与
【出 处】
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全国首届MIC CAD及MIC工艺学术会
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片状元件MIC电路是当前国际上新发展起来的电路。该文介绍了首次制成的CCNA导带氮化钽铝片状电阻器。由于采用了CrCnNiAn多层复合导带提高了片状电阻薄膜导电系统的可靠性，与通常的Cr-An或Cr-Cu-An导电系统相比，焊接性能和高温性能有较大的改善，并能节约用金，微波性能良好。采用氮化钽铝薄膜电阻具有方阻宽（可在5Ω/□～/KΩ□之间选择），温度系数低的优点。该文介绍了氮化钽铝薄膜电阻器的结构，性能及工艺制作，讨论了对片状电阻应用回熔焊来代替复杂的再流焊的一些方法。（本刊录）
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