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该文介绍一种用狭缝测量法测量细丝微小位移的方法及设计制作的测量系统，对直径为１００μｍ的细丝进行的位移测试和误差分析表明，该系统的测量范围为５０μｍ，测量精度０．１μｍ。
细丝微小位移测量方法研究
【摘 要】
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该文介绍一种用狭缝测量法测量细丝微小位移的方法及设计制作的测量系统，对直径为１００μｍ的细丝进行的位移测试和误差分析表明，该系统的测量范围为５０μｍ，测量精度０．１μｍ。
【机 构】
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科技大学精密机械系与精密仪器系
【出 处】
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中国齿轮制造研究会第四届学术学年会暨先进制造技术及齿轮学术会议
【发表日期】
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1997年期
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