【摘 要】
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用ANSYS 有限元分析软件对RF MEMS 开关的三种基本固支梁结构模型进行了机电耦合模拟.通过对开关进行一系列的静态、谐振态、模态以及瞬态分析,讨论了采用不同桥膜结构的开关
【机 构】
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厦门大学物理与机电工程学院,福建 厦门 361005
【出 处】
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第九届全国振动理论及应用学术会议暨中国振动工程学会成立20周年庆祝大会
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用ANSYS 有限元分析软件对RF MEMS 开关的三种基本固支梁结构模型进行了机电耦合模拟.通过对开关进行一系列的静态、谐振态、模态以及瞬态分析,讨论了采用不同桥膜结构的开关的激励电压、固有频率,阻尼Q 因子、开关时间的变化.并结合基本结构的分析数据设计了一种曲臂折合式的桥膜结构,从理论上验证了此结构在同等框架体积下,具有更低的模拟下拉电压、共振频率,开关时间,以及更稳定的工作模态.
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