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类金刚石碳基薄膜主要性能瓶颈体现在内应力高、热稳定性差、材料韧性低、脆性强以及其摩擦学行为的强环境敏感性问题。具有优异强韧化和低摩擦特性以及低环境敏感性集一体的类金刚石薄膜一直是硬质固体润滑薄膜领域研究突破的目标。
碳基润滑抗磨薄膜可控及其高技术应用
【摘 要】
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类金刚石碳基薄膜主要性能瓶颈体现在内应力高、热稳定性差、材料韧性低、脆性强以及其摩擦学行为的强环境敏感性问题。具有优异强韧化和低摩擦特性以及低环境敏感性集一
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室兰州730000
【出 处】
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第十一届国际真空冶金与表面工程学术会议、2013年真空工程学术会议暨2013年真空咨询学术会议
【发表日期】
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2013年9期
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